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3D壓痕儀系統的主要功能
 
　　3D壓痕儀系統是一種用于材料科學領域的計量儀器，于2010年07月13日啟用。
      技術指標
　　小載荷_25uN；大載荷350mN；大壓痕深度 3100um；位移分辨率_0.0004nm。
      主要功能
　　3D壓痕儀系統主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以測定材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、存儲模量及損耗模量等特性。 微米級劃痕測試儀（MCT）：用于界定薄膜與基體的結合強度，可分析有機、無機，軟質和硬質薄膜的破壞形式。
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